SIMS质谱为何备受关注？
二次离子质谱仪(Secondary-ion mass spectrometry，SIMS)也称离子探针，是一种使用离子束轰击的方式使样品电离，进而分析样品元素同位素组成和丰度的仪器，是一种高空间分辨率、高精度、高灵敏度的分析方法。检出限一般为ppm-ppb级，空间分辨率可达亚微米级，深度分辨率可达纳米级。被广泛应用于化学、物理学、生物学、材料科学、电子等领域。
图2 一次束轰击样品表面
根据工作模式的不同，二次离子质谱要有3个方面的应用，分别是表面质谱、表面成像和深度剖析。
1、元素及同位素分析
2、表面质谱
与其他常规分析手段相比，二次离子质谱的显著特点便是很高的灵敏度，例如，对半导体材料中硼、磷、砷等杂质的分析灵敏度可达0.2～20×10－6。这种高灵敏度的杂质分析，是现代半导体工艺中质量控制是不可或缺的。
3、表面成像
表面成像是利用二次离子束对样品的待测区域进行逐点扫描，从而得到该区域内特定原子或分子的分布图像。此外，二次离子质谱所独具的高灵敏度和高空间分辨率也得到了越来越多的生命科学研究者的关注，将其用于生物样品的分子成像。
4、深度剖析
深度剖析要求对样品表面的原子实现快速逐层剥离，因此采用较强的束流。实际工作中会经常采用双束，即用束斑较大的强束流用于剥离并产生平底的凹坑，同时用束斑较小的弱束流用于对凹坑底部中心区域的质谱分析。
在半导体制造工艺中，扩散的过程对器件的许多性能指标具有决定性的影响，扩散层和杂质的分布直接决定了器件诸如频率、放大、耐压等参数。而二次离子质谱所具有的高灵敏度和空间分辨率就为μm尺度扩散区杂质浓度测定分析提高了理想的工具。
SIMS的主要优点：
(1)在超高真空下(<10-7Pa)进行测试，可以确保得到样品表层的真实信息；
(2)原则上可以完成周期表中几乎所有元素的低浓度半定量分析；
(3)可检测同位素；
(4)可分析化合物；
(5)具有高的空间分辨率；
(6)可逐层剥离实现各成分的纵向剖析，连续研究实现信息纵向大约为一个原子层；
(7)检测灵敏度高。
当然，SIMS自身也存在一定的局限性，主要在于：
(1)分析绝缘样品必须经过特殊处理；
(2)样品组成的不均匀性和样品表面的光滑程度对分析结果影响很大；
(3)溅射出的样品物质在邻近的机械零件和离子光学部件上的沉积会产生严重的记忆效应。
离子探针(SIMS)技术是一种高空间分辨率、高精度、高灵敏度的分析方法。它作为目前最为先进的微区分析手段，已经得到了令人瞩目的发展。随着SIMS技术的不断发展，在化学、物理学、生物学、材料科学、电子、地球科学方面的应用越来越广泛，对SIMS技术的应用的探究也越来越多。相信其将在地球科学研究方面做出重大的贡献。
内容来源：测试云平台
责任编辑：展源
审核人：何发
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