离子束沉积
离子束沉积
相关产品:
Ionfab 300Plus Ionfab 500Plus
工艺类型
IBD-离子束沉积：Ionfab 300 plus (SC) and (LC), Ionfab 500 plus
IBD+辅助源：仅Ionfab 300 plus (SM) and (LC) ，辅助源也可用于样品预清洗
硬件
• 旋转和可倾斜的衬底支座(仅Ionfab 300 plus (SM) and (LC))
• 沉积离子源：15厘米，13.56兆赫兹
• 等离子体桥中和器射束中和
• 气体通过源、辅助源进气并进入反应室
• 独立可变的参数：气流、离子能量、离子电流、加速电压、射束中和
• 多靶材，具有固定防护屏和旋转快门
• 第二个源作为辅助源来控制化学计量(例如，从金属靶材中沉积氧化物)或者预清洗(仅Ionfab 300 plus (SC) and (LC))
重点应用
• 环形激光陀螺镜
• 大功率激光光学
• 引力波探测镜
• 天文仪器
• 抗反射和高反射镀膜(如激光器巴条)
优点
• 表面质量高
• 致密光滑的薄膜
• 非常低的散射
• 非常低的光学损失
• 每次工艺之间非常好的重复性
• 优异的均匀性
• 最大的灵活性
• 应用范围
• 工艺可重复性
• 低成本
离子束溅射沉积系统
关于牛津
牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司，是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子 设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家，拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公 司或办事处。
具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站：www.oichina.cn www.oxinst.com
牛津仪器(上海)有限公司 电话: (021) 64908280 传真: (021) 64904042
牛津仪器(上海)有限公司上海办事处 电话: (021) 60732929 传真: (021) 60732949
牛津仪器(上海)有限公司北京办事处 电话: (010) 65188160 传真: (010) 65188155
牛津仪器(上海)有限公司广州办事处 电话: (020) 83649990 传真: (020) 83649996
牛津仪器(上海)有限公司成都办事处 电话: (028) 86703596 传真: (028) 86703595
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