工业和信息化部、国家发展改革委近日联合印发《电子信息制造业发展 "十五五" 规划》(以下简称《规划》)。《规划》锚定基本实现新型工业化目标,按照 "筑基、提质、育新、治理" 总体思路,部署 17 项重点任务、9 个专栏,其中明确提出 "提升电子专用设备及测量仪器供给能力",并以专栏形式规划电子专用设备及测量仪器自主保障水平提升路径,为测试测量与实验室仪器产业划定发展新坐标。
《规划》明确,到 2030 年,我国电子信息制造业高质量发展取得显著成效,规模以上企业营业收入突破 30 万亿元,产业研发投入强度达到 3.5%。《规划》围绕筑牢产业基础能力、增强电子整机与系统竞争力、培育产业发展新增长点、增强产业可持续发展能力四大板块,突出场景和需求牵引,通过集成攻关、国产替代、生态建设等举措,补短锻长强基,抢占未来发展优势。

实施电子专用设备攻坚计划。在筑牢产业基础能力方面,《规划》提出实施电子专用设备攻坚计划,推进电子专用设备、测量仪器整机及配套系统攻关,聚焦载板大尺寸、三维立体集成、异质异构集成、微缩等方向开展生产设备研发。专栏进一步明确:支持金属有机化合物气相沉积、大尺寸晶体生长、分子束外延等材料制备设备研发;加强电子束曝光、激光直写、纳米压印、原子层刻蚀、原子层沉积、精密电镀等电学性能生成设备攻关突破;发展巨量转移、纳米级光耦合、亚微米级高精度贴装、低温共晶焊等封装组装设备,促进各细分领域生产设备融通发展,带动关键元器件突破。
测量仪器与量检测设备列入攻关清单。值得实验室与检测行业关注的是,电子测量仪器与量检测设备被置于重要位置。《规划》提出积极布局高带宽、太赫兹、量子精密测量等电子测量仪器前沿技术,并列出明确的攻关方向:开发电致及光致发光检测、残余气体分析仪、自动光学检测、光学关键尺寸量测、椭偏仪、台阶仪等量检测设备;攻关宽带矢量网络分析仪、宽带矢量网络信号发生器、宽带数字示波器、低底噪宽带频谱分析仪、超高速网络性能测试仪、多信道测试接收机、太赫兹测试仪等电子测量仪器。从材料、器件到芯片、整机,全链条的 "量" 与 "测" 能力建设路径清晰。
多措并举推进国产应用。在攻关产品落地方面,《规划》明确发挥首台(套)保险补偿机制、政府采购等作用,推进攻关产品的应用推广,多渠道扩大国产电子专用设备和测量仪器使用;大力发展设备维保能力,畅通零部件及元器件交易渠道,加快发展设备服务业,构建从研发攻关、应用推广到服务保障的完整生态。
高端仪器国产替代迎来政策窗口。《规划》的出台延续并强化了国家对高端仪器仪表的战略部署。"十五五" 规划纲要已明确,采取超常规措施,全链条推动集成电路、工业母机、高端仪器、基础软件、先进材料、生物制造等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破。此前,工业和信息化部已部署推进仪器仪表整机、零部件和元器件、软件和标准、材料与耗材全链条突破,培育建设一批性能评价和检测认证平台。行业数据显示,2025 年我国仪器仪表行业规上企业营收突破 1.1 万亿元,但高端仪器仍有八成以上依赖进口;电子测量仪器市场规模已超 400 亿元,正处于国产替代的关键窗口期。此次《规划》将电子专用设备及测量仪器供给能力提升纳入电子信息制造业 "十五五" 发展总体布局,有望进一步牵引材料、零部件、软件算法等配套环节协同突破,为高端仪器国产化注入更强劲动力。
下一步,工业和信息化部将大力开展政策宣贯,加强政策统筹协调,推进产教融合和产融合作,开展规划实施监测与评估,全力保障《规划》顺利实施。随着各项任务落地,我国电子专用设备与测量仪器产业有望在 "十五五" 期间实现从 "可用" 向 "好用" 的跨越,为实验室检测、半导体制造、通信与算力基础设施等应用场景提供更坚实的测量支撑。
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《电子信息制造业发展 "十五五" 规划》将 "提升电子专用设备及测量仪器供给能力" 列为核心任务,明确示波器、网络分析仪、椭偏仪等量检测与测量仪器攻关方向,高端国产仪器替代再提速。
作者:牛亚伟
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