纳尺度生长

0 2020-05-27

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纳尺度生长

纳尺度特征可以通过生长技术(从下往上)和刻蚀(从上往下)来形成.Nanofab系统是瞄准生长来满足纳米技术的市场

• 纳米管/纳米线

• 纳尺度薄膜

Nanofab系统的工艺优势

纳米管及纳米线的可控生长

等离子体对催化剂进行预处理以利于生长

退火温度可以高达800 °C

可以进行大面积薄膜沉积并拥有非常好的均匀性的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，沉积速率高，并可以对薄膜的折射率、应力、导电性、湿法刻蚀速率等特性进行控制

牛津仪器的纳尺度生长工具

牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司，是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家，拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公司或办事处。

具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站：www.oichina.cn www.oxinst.com

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内容来源：牛津仪器

责任编辑：展源

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