你真的会穿超净服吗？

张明 0 2023-11-03

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圆代工厂(Fab)，特别是先进制程的晶圆代工厂，对于颗粒的控制是苛刻到了极致。在7nm和5nm工艺中，任何微小的颗粒都可能导致严重的缺陷，而人作为颗粒的首要来源，自然成为了被严格控制的对象。超净服的穿着尤为重要，且有严格的穿着流程，今天就教大家如何规范穿着超净服吧。

在家需要做哪些准备？

1,保持良好的个人卫生习惯：每天洗澡、剃须、刷牙和洗头。皮肤是一个持续剥落细胞的器官，因此使用不含硅的皮肤保湿剂有助于降低死皮细胞的数量。

2，所有化妆品、发胶、香水等均不适合洁净室，因为这些物品中含有化学成分与香精，会在洁净间内产生挥发性有机化合物（VOCs）和其他污染物，所以不能使用。但可以涂抹适合洁净室的护手霜。

3，其他不准做的事：不准将长发裸露；不准穿纤维毛衣或容易掉落材料的衣物；不准携带可能产生静电的材料；不准穿脏衣服；不准穿过于宽松的衣服；不准穿短裤、背心等暴露皮肤的衣物；不准带电子产品等等。

超净间更衣流程

进入预更衣区（一更）

1，带上静电帽或头套，把头发完全包裹在里面

2，走过粘性的垫子，去除鞋上多余的泥土，并给鞋子套上一次性鞋套。

3，脱掉不必要的衣服，穿上干净的防静电外衣

4，洗手，吹干，带上手套

进入更衣区（二更）

1，步行至更衣区

2，找到自己的洁净袋，拿出连体洁净服，头罩，鞋子，并将其放在长凳上。长凳将更衣室分开，长凳的一侧为干净区，一侧为脏区。

3，戴上无尘口罩，

4，套上头罩，扣紧

5，穿上连体洁净服：将连体服自然展开，找到连体服的拉链，将其完全拉开。将连体服的袖子插在连体服内，双手拿着连体服的腰部，弯腰先将一条腿插进连体服的裤腿中，再将另一条腿插入，之后站立，将一只手臂伸进袖子中，再将另一只手臂伸进袖子，拉上连体服拉链，扣紧颈部，腕部，脚踝处按扣。全程不要让连体衣触碰到地板或墙壁。

6，穿上无尘靴：坐在长凳上，先穿上一只靴子，将脚放在长凳干净的一侧，另一只脚在脏的一侧，再穿另一只靴子，两只靴子都穿上后，不要再返回脏区，只准在干净区行走。

7，戴上护目镜或防护罩等

8，洗手，吹干。要求严格的Fab会再换一双手套，或者在原手套上再套一双干净的手套，并将袖口包裹在手套内。

9，在更衣镜前检查是否穿衣规范，有不规范的地方及时更正

10，确认无误后，进入风淋室，经过粘垫，进入Fab

什么情况下出来不需要脱超净服？

紧急疏散时，人员需立即离开洁净室，不得脱掉超净服。其他情况下，包括去洗手间，都需要脱掉超净服。

内容来源： Tom聊芯片智造

责任编辑：展源

审　　核：何发