薄膜与厚膜有什么区别？

张明 0 2024-02-26

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薄膜厚膜半导体

在半导体制造领域，我们经常听到“薄膜制备技术”，“薄膜区”，“薄膜工艺”等词汇，那么有厚膜吗？答案是：有。

什么是薄膜与厚膜？

薄膜，thin film，一般以nm为单位，是非常薄的膜层。对于厚膜与薄膜，没有非常严格的定义，我将厚度在1000nm（1um）以内的膜层归为薄膜。薄膜由于其相对较小的厚度和尺寸，通常可以被视为二维形式的物质，只能附着在基材上。

厚膜，thick film，一般以um为单位。厚度远大于薄膜，大约在几微米到几十微米之间。厚膜不完全需要基材，可独立制作。

薄膜与厚膜的区别？

应用区别

薄膜主要应用在半导体，光伏，光学，液晶领域中。

而厚膜主要应用在无源电子元件（如电阻器、电容器和电感器），单片机，传感器，混合集成电路等领域。

制作工艺区别

常见的薄膜沉积技术包括物理气相沉积（PVD），化学气相沉积（CVD），原子层沉积（ALD），外延等。

厚膜常用丝网印刷，喷涂，旋涂，电镀等方式制作。

精度区别

由于薄膜层较薄，通常精度和准确度更高，从而可以更好地控制薄膜的特性。而厚膜元件的精度较低。

成本区别

厚膜制造工艺简单，成本较低，适合更广泛的应用。而薄膜制造需要昂贵的机台与维护成本。

厚膜的丝网印刷工艺流程？

丝网印刷是制作厚膜电子器件的一种常见工艺，一般流程为：

1，准备浆料：浆料是厚膜工艺中的关键材料，一般分为5种类型，即导体浆料、电阻浆料、电介质浆料、绝缘浆料和封装浆料。

内容来源：Tom聊芯片智造

责任编辑：展源

审　　核：何发